静电卡盘_静电应用

静电卡盘

静电卡盘是一种适用于真空环境或等离子体环境的超洁净晶圆片承载体，它利用静电吸附原理进行超薄晶圆片的平整均匀夹持。该产品广泛应用于 PVD、PECVD、ETCH、EUVL、离子注入等高端半导体制造装备。